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不织布型抛光垫和独立发泡型抛光垫介绍
现有抛光垫大致上可分为二种:不织布型抛光垫及独立发泡型抛光垫。现有不织布型抛光垫包括多条纤维及一树脂,其制造方法为使用丝绒或仿麂皮等的纤维与该树脂的复合材料,或是将该等纤维所形成的不织布含浸于热可塑性聚胺基甲酸酯树脂并使其湿式凝固而成的压缩变形性大且较柔软的薄片。此种抛光垫的缺点为因为其柔软性容易导致研磨面平坦化性能不好,而且该树脂无法均匀地包覆该等纤维,亦即会有部分纤维未被该树脂包覆,导致整体强度不足及使用寿命较短。
现有独立发泡型抛光垫包括多个孔洞及一树脂,其制造方法为将该树脂(通常为热塑性聚胺基甲酸酯的高分子发泡体)灌入一圆形铸模筒中,待冷却凝固后再予以切片制得。此种抛光垫的刚性比第一种现有不织布型抛光垫高,且具有独立气泡结构,常被用在高平坦化抛光。然而,此种抛光垫最大的问题在于因该树脂浓度在该圆形铸模筒中的分布较不易均匀,成型时该圆形铸模筒各位置温度分布的差异性会造成该等孔洞大小及分布不一,且不易控制,再经切片制作工艺后,会使该抛光垫的切片面的孔洞大小不一更为明显。此外,该等孔洞彼此不连通,在使用时会使研磨液不易流通,而容易刮伤工件。
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更新时间:2019-07-24 14:58:22 【
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