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抛光垫的分类与作用及影响因素
抛光垫又称抛光皮,抛光布,抛光片,化学机械抛光中决定表面质量的重要辅料。
一、分类
按是否含有磨料可以分为有磨料抛光垫和无磨料抛光垫; 按材质的不同可以分为聚氨酯抛光垫、无纺布抛光垫和 复合型抛光垫; 按表面结构的不同大致可分为平面型、网格型和螺旋线型。
二、作用
1.把抛光液有效均匀地输送到抛光垫的不同区域;
2.将抛光后便化学反应充分进行;的反应物、碎屑等顺利排出,达到去除效果;
3.维持抛光垫表面的抛光液薄膜, 以便化学反应充分进行;
4.保持抛光过程的平稳、表面不变形, 以便获得较好的晶片表面形貌;
三、影响因素
1.硬度-抛光垫的硬度决定保持面形精度的能力;
2.压缩比-压缩比反应抛光垫的抗变形能力;
3.涵养量-抛光垫的涵养量是单位体积的抛光垫存储抛光液的质量;
4.粗糙度-表面粗糙度是抛光垫表面的凸凹不平程度,;
5.密度-密度是抛光垫材料的致密程度;
想了解更多关于抛光垫、阻尼革等研磨材料的话,可以关注东莞泰亚塑胶有限公司。
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更新时间:2019-03-09 09:38:48 【
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